昭和電工2月4日宣布,將提高高純度三氯化硼BCl3的產能。該公司決定擴建川崎事務所的設備,計劃使新設備從2016年3月開始投入使用。這樣,該公司高純度BCl3的產能將達到原來的1.5倍。
高純度BCl3是在液晶面板及硅半導體制造工藝中用于蝕刻鋁布線的特殊氣體。由于近年來相關廠商紛紛向使用鋁布線的有機EL面板及低溫多晶硅液晶面板投資,預計今后將產生穩定的需求,因此昭和電工決定強化設備。
來源:中化新網
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