記者近日從中國電子科技集團有限公司獲悉，該集團旗下裝備子集團已成功實現離子注入機全譜系產品國產化，可為全球芯片制造企業提供離子注入機一站式解決方案。
離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。據介紹，中國電科連續突破高性能離子源、高速晶圓傳輸等“卡脖子”技術，自主研制中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28nm，累計形成核心發明專利413項，實現中國芯片制造領域全譜系離子注入機自主創新發展，有效緩解我國芯片制造領域斷鏈、短鏈難題。(記者溫競華)
轉自：新華社
【版權及免責聲明】凡本網所屬版權作品，轉載時須獲得授權并注明來源“中國產業經濟信息網”，違者本網將保留追究其相關法律責任的權力。凡轉載文章及企業宣傳資訊，僅代表作者個人觀點，不代表本網觀點和立場。版權事宜請聯系：010-65363056。
延伸閱讀
“十三五”期間我國高技術制造業增長迅猛
