軸心自控MYS10設備打破壟斷獲市場肯定

　　在近日舉辦的2021"專精特新"冬季新品發布會上，由深圳市軸心自控技術有限公司現場展示的 "半導體大氣式等離子表面處理系統"（以下以其中一款機型 "MYS10設備"為指代），打破了被國外廠商長期壟斷的格局，在關鍵性能指標上甚至實現超越。

　　MYS10設備是一款高靈活性、高兼容性小巧型平臺，一般應用在半導體、PCB板、LED顯示等行業生產工藝中的清洗及活化，解決電子元器件表面的污跡、燒結等缺陷隱患，可以稱作是半導體等行業生產環節中的重中之重，對于提升產品合格率至關重要。

　　據了解，經過多年攻關，目前產品已經得到國內外主流的半導體、屏顯廠商的認可及使用。

　　半導體前端晶圓級和后端封裝級生產工序中，由于有機臟污、金屬氧化物、顆粒污染等在器件和材料表面，這些臟污會明顯地影響封裝生產及產品質量。行業一般利用等離子體清洗技術，能夠很有效清除掉生產過程中形成的這些分子水平的污染，從而顯著改善封裝的可制造性、可靠性及成品率。

　　不僅半導體產業，消費電子、汽車電子、顯示等產業各類產品為提高產品穩定性和可靠性，都離不開這道工藝技術。

　　"此前，產業普遍采用真空等離子處理技術，但是這種技術被國外廠商長期壟斷，等于說受制于人。"軸心自控產品經理熊欽介紹，一臺同類型設備費用高昂，差不多在15萬美元以上，采購時根本沒有話語權。

　　MYS10設備打破了這種壟斷，其業內首創的常壓式氬氣等離子系統在多項關鍵指標上實現超越，也使得我國同類產品在國際上從跟隨者躍升為引領者。傳統的處理系統需要真空處理和填充惰性氣體兩道繁瑣工序，MYS10設備做了更多創新，通過消除傳統真空式等離子處理的等待時間，這套系統在帶來產能和良率提升的同時，也能確保安全處理所有敏感性電子元件。與此同時，100mm寬等離子在線式批量處理，可進一步滿足高產能，據估算，相比傳統方式效率可提升2~5倍，成本降低30%以上。（經曉萃 成鑫）

　　轉自：中國工業報

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