我國高端光刻設備躋身世界一流

要把一塊體積小巧、功能強大的集成電路芯片制造出來，除了卓越的電路設計外，更離不開將設計圖型轉換成高性能芯片的制造設備，而其中最關鍵的設備就是光刻機。經過十年自主創新，上海微電子裝備有限公司掌握了光刻機多項核心關鍵技術并擁有了這一領域的多項自主知識產權，打破了國際壟斷，成為世界上第四家掌握這一高端技術的公司。這是記者今天從光刻機十年成果匯報暨上海微電子裝備有限公司十年回顧活動上獲悉的。

　　人們常說，制造一塊芯片，其精細程度比在一根頭發絲上“繡花”還要高。集成電路裝備是集成電路產業價值鏈頂端的“皇冠”。其中，高端光刻機堪稱“皇冠上的明珠”，是集成電路裝備中技術難度最高、價格最昂貴的關鍵設備，集精密光學、機械、控制、材料等先進科學技術和工程技術于一體，研發過程和成果對于集成電路產業和信息產業的發展具有極大的帶動作用。我國“十五”、“十一五”、“十二五 ”發展規劃中，高端光刻機被明確定義為重點制造裝備，并被列入國家科技重大專項。

　　2002年，科技部重大科技專項100納米高端光刻機的研制落戶上海。科技部和上海市政府商定，按現代企業制度建立上海微電子裝備有限公司承擔這項任務，并同步建設國家光刻設備工程技術研究中心和產品化基地。面對國內基礎薄弱、資源匱乏、專利壁壘多的局面，上海微電子裝備有限公司不斷探索創新，刻苦攻關，于2007年自主設計、制造和集成了我國首臺高端投影光刻機。首臺先進封裝光刻機于2009年下半年實現銷售，運行兩年多來連續封裝幾十萬片硅片。目前，該系列產品已形成批量銷售，并實現海外市場銷售突破。2011年，研發完成0.31nm的中高端雙頻激光干涉測量系統，2012年將形成系列產品進入國內高端精密檢測設備市場。截至目前，公司已申請中國專利947項，其中大部分為發明專利，被評為上海市專利工作和知識產權示范企業。

來源：光明日報

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