我國研制成功300毫米多線切割機

中國電子科技集團公司總經理王志剛1 月12 日透露，由中國電科承擔的國家重大科技專項“ 極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項”課題之一的300 毫米硅材料多線切割機近日研制成功，從而打破了國內生產線上運行的12 英寸多線切割機全部為進口設備的現狀。

王志剛在中國電科2011 年工作會議上介紹說，這個項目是由中國電科自行設計，攻克了多項關鍵技術，研制成功的實用化機型，能夠一次切割出400多片滿足生產線要求的12 英寸硅片。這項技術已向太陽能硅材料加工領域延伸，目前中國電科已與國際大型太陽能硅片企業簽訂戰略合作協議，進行多功位線鋸的研發，2011 年6 月前后將完成商業機型的生產線工藝驗收。中國電科是我國軍工電子國家隊和國民經濟信息化主力軍。“ 十一五”期間中國電科為我國國防和國民經濟建設提供了一大批先進的電子信息系統和裝備，研制出一大批關鍵元器件。

來源：中國質量報

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