300mm多線切割機研制成功，打破依賴進口現狀

　　本報訊 近日，中國電子科技集團公司簡稱中國電科承擔的國家重大科技專項——— 極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項課題之一的300mm多線切割機研制成功，該設備具有完全自主知識產權。該設備的研制成功，打破了國內生產線上運行的12英寸多線切割機全部為進口設備的現狀。

　　這個項目是由中國電科自行設計、配套，攻克了衡張力控制、工件臺精密運動、切割均勻性及表面切割質量等關鍵技術，克服了斷線、移動臂移動失位、鋼絲帶不進砂漿等實際問題，研制成功的實用化機型能夠一次切割出400多片滿足生產線要求的12英寸硅片。

　　該項技術已向太陽能硅材料加工領域延伸。300mm多線切割機技術應用到太陽能電池行業，可一次性切割156mm×156mm的硅片5000～6000片。目前中國電科已與國際大型太陽能硅片企業簽訂戰略合作協議，進行多功位線鋸的研發，2011年6月前后將完成商業機型的生產線工藝驗收。

　　據悉，中國電科已經初步形成了601太陽能多線切割機、300mm多線切割機等系列化的多線切割設備，占據了國內線切割技術的制高點，滿足了不同行業、不同規模客戶的不同需要。

　　據了解，“十一五”期間，中國電科為我國國防和國民經濟建設提供了一大批先進的電子信息系統和裝備，研制出一大批關鍵元器件。目前，中國電科民品產業已初步形成安全電子、能源電子、交通電子、軟件與信息服務、通信網絡與衛星應用、新型元器件、先進制造裝備與儀器儀表、現代物流服務等8大主導產業板塊。（任愛青）

來源：中國電子報

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