集成電路濺射靶材打破國外壟斷

本報訊 日前，中國有色金屬工業協會對中色（寧夏）東方集團有限公司完成的極大規模集成電路300mm硅片工藝用濺射靶材研發與產業化項目進行了鑒定，該項目整體技術已達到國際先進水平，打破了發達國家對集成電路用高端靶材的壟斷。

　　據了解，濺射靶材是生產半導體芯片最重要的原料之一。目前全球只有日本和美國具備生產先進半導體用濺射靶材的能力。中色（寧夏）東方集團和其他6家單位共同實施的這一項目形成了具有我國自主知識產權的集成技術并實現了產業化，產品通過了終端客戶認證。該項目達產后，預計年銷售收入在20億元以上。（趙寅 李明忠）

來源：中國化工報

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