江豐電子：16年堅守 造就尖端靶材“破壁英雄”

　　項目介紹：寧波江豐電子材料股份有限公司“超高純鋁鈦銅鉭金屬濺射靶材制備技術及應用”項目榮獲國家技術發明獎二等獎。

　　邁進寧波江豐電子材料股份有限公司的大門，首先進入視野的，是一面鑲嵌著碩大金屬圓盤的屏風。

　　這塊造型獨特的金屬圓盤，設計思路來源于一種廣泛應用于半導體芯片制造的關鍵耗材——超高純金屬濺射靶材。2005年創立企業至今，江豐電子的創業團隊將全部心血傾注到這項尖端技術的研發和市場應用，從創業初期的連年虧損，到逐步做大并敲鐘上市，再到如今獲得重量級獎項，16年苦心孤詣“面壁”攻關，最終造就了充滿輝煌與榮耀的“破壁英雄”。近日，由江豐電子牽頭的“超高純鋁鈦銅鉭金屬濺射靶材制備技術及應用”項目榮獲國家技術發明獎二等獎，相關產品不僅滿足了國內市場需求，還能大量出口海外，芯片制造用濺射靶材市場份額居全球第二、全國第一。

　　超高精度的“打靶競賽”

　　密閉腔室中，氬離子猶如一顆顆炮彈砸向“標靶”，將靶面的金屬原子轟離。在電場影響下，這些金屬原子“濺射”并沉積到“標靶”的另一面，慢慢形成一層金屬膜，隨后根據客戶需求應用于芯片制造——這就是濺射靶材的使用過程。

　　在江豐電子制造中心技術廠長袁海軍看來，這一使用過程很像射擊打靶。“只是這場打靶競賽的精細程度，幾乎達到了工業領域的最高水準。”他說。

　　譬如，為了讓金屬膜更平整、更均勻，江豐電子采購定制化國內大型高端加工設備，“像揉面一樣揉金屬”，精細調控金屬晶粒生長方向，最大限度降低鍍膜時的誤差，減少后續處理工序的成本和時間。

　　此外，江豐電子還攻克了超高純金屬濺射靶材精密機加工和異種金屬大面積、高強度、高結合率焊接等技術，解決了高純材料加工時易變形、易劃傷，焊接工件材料之間界面氧化、材料應力變形等難題。

　　據了解，一塊規格較大的超高純金屬濺射靶材可以在下游制造商的工廠里使用近一個月，為數百萬乃至上千萬顆芯片提供材料，其價格約等于一輛中檔轎車。“正因為它的‘身價’如此之高，與芯片制造的關系如此緊密，我們必須全力把控工藝精度與產品品質，確保企業的市場競爭力和話語權。”袁海軍說。

　　如今，江豐電子陸續攻克靶材制備的多個技術難題，建成完全基于國產化裝備的世界一流濺射靶材生產基地，年產量達10萬枚，已在國內外芯片制造廠商實現批量應用。這場反復琢磨、深入研究10余年的“打靶競賽”，讓江豐電子真正站在了行業最前沿。

　　追逐“世界第一”發展夢

　　技術領域的接連突破，給予江豐電子持續壯大實力、進一步攀登科技高峰的充足信心。

　　今年前三季度，企業營業收入約11.23億元，較上年同期增長32.93%。在新冠肺炎疫情和“缺芯潮”雙重影響之下，企業發展依舊保持良好態勢。“江豐電子所處的行業技術迭代快速、市場競爭激烈，但我們始終瞄準國家重大需求、聚焦全球最頂尖技術，希望能真正成為讓國人自豪的民族企業、成為當之無愧的世界第一。”企業創始人、董事長兼首席技術官姚力軍如此期盼。

　　沖刺“世界第一”的底氣，源于對科技研發孜孜不倦的投入。

　　今年前三季度，企業投入研發費用7000余萬元，占營業收入的6.4%，同比增長43.74%。借力重慶大學、哈爾濱工業大學、浙江大學、寧波材料所等國內外高校和研究機構，江豐電子成為專業人才的重要實踐基地，目前已集聚100多位高層次研發人員。

　　敢花錢、能用人，換得了創新創造的豐碩成果。截至今年9月底，江豐電子獲得國內有效授權專利416項，制訂各級各類行業標準20余項。企業的榮譽墻上，“半導體材料十強企業”“國家單項冠軍示范企業”和各類科學獎項的牌匾滿滿當當、閃耀奪目。

　　江豐電子所在的這片土地，是單項冠軍企業數量最多的城市，有著培育“世界第一”的肥沃土壤。在芯片制造用濺射靶材領域站穩腳跟之后，江豐電子正瞄準超高純金屬原材料制備、半導體精密零部件制造等更多尚存空白的上下游產業，朝著夢想中的“王冠”一路飛馳。

　　轉自：寧波日報

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