全國80%電子級磷酸“興發造”

　　1月22日，宜昌市猇亭區湖北化學品專區A區，3萬噸電子級磷酸廠房內，機器一刻不停地運轉。

　　20名工人緊盯著電腦，監測著產線運行。“下游數十家半導體企業等著產品，產線不停工，供應不能斷。”越到年前，興發集團副總工程師楊著越是忙得腳不沾地。

　　廠房里正在生產的電子級磷酸，是芯片制造的重要輔助原料，主要用于半導體晶圓蝕刻，被稱為磷化工“皇冠上的明珠”。過去，我國電子級磷酸幾乎全部依賴進口，曾是實現芯片國產化的“卡脖子”產品之一。

　　與普通工業磷酸不同，電子級磷酸對純度要求極高，必須避免因金屬離子、顆粒物偏高，導致芯片蝕刻產生雜物，其價格是普通工業級磷酸的近三倍。

　　楊著說，從芯片半成品到成品，有200多道工序，需要10余種電子級高純濕化學品，任何一種產品都有被“卡”的風險。

　　2008年，興發集團進軍微電子新材料研發，電子級磷酸就是目標之一。

　　宜昌具備得天獨厚的磷礦資源優勢，但首先要攻克純度問題。對于彼時的興發而言，最大挑戰是關鍵核心設備定制和關鍵金屬離子分離難點。

　　在芯片制造行業，技術更新迭代快，每18個月就迭代一次，勢必要求電子級磷酸的純度提升不斷加快。經過數年研發攻關，興發生產的電子級磷酸，純度從2010年投產時的100ppb，提升到3ppb。

　　2019年，興發集團“芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液生產關鍵技術”獲得國家科學技術進步二等獎。

　　技術問題解決了，隨之而來的就是量產和市場。“國產能不能抵得上進口？”這是當時市場上的最大疑惑。

　　另一個巨大壓力是，在芯片生產的200多道工序中，電子級磷酸蝕刻環節一旦出問題，芯片就會報廢，損失巨大。

　　為拿到國內一家龍頭企業的認可和訂單，興發用了兩年時間，一步步通過小規模測試、中等規模測試、大規模測試，最終憑借過硬的自主創新，拿下這筆關鍵訂單——國產電子級磷酸上線。

　　望著眼前繁忙的生產線，楊著感慨地說，從實現科技自主和穩定量產，興發用了近10年。如今，國內市場上80%以上的電子級磷酸均來自興發，并出口海外。客戶中，還不乏多家世界級芯片制造企業的身影。10余種高純濕電子化學品已有大半實現國產。

　　去年4月，興發主導投資的湖北化學品專區開建。全部投產后將形成每年55萬噸的產能，包括濕電子化學品、電子級硅材料、電子級特氣等，進一步實現系列電子化學品國產化穩定供應。

　　轉自：湖北日報

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