突破技術壟斷壁壘 國產AMHS挺進半導體“主戰場”

　　江蘇蘇州，成川科技（蘇州）有限公司（以下簡稱“成川科技”）AMHS Demo線展廳內，銀色天車在四米軌道上疾馳而過，每秒5.2米的極速穿梭中，晶圓盒抓取定位誤差精準鎖定在±1毫米--這條躍動的“空中走廊”，宣告著中國在半導體自動物料搬運系統（AMHS）領域實現歷史性突圍。

　　AMHS被喻為晶圓廠的“空中高速公路”，天車需在萬級潔凈環境中實現7×24小時無間斷精準搬運。面對日本大福與村田構筑的專利壁壘，成川科技創始人顧曉勇帶領團隊開啟系統級創新。“我們不僅要突破機械設計、運動控制等模塊技術，更要攻克ISO Class 100超精密制造工藝與MTBF≥2000小時的穩定性驗證體系。”這位技術出身的掌舵人坦言。

　　2022年秋，華天科技先進封裝生產線的測試車間，國產AMHS正經歷最嚴苛的“成人禮”--168小時無故障連續運行測試。這不是簡單的耐力測試，而是對研發、生產、調試全周期質量體系的終極檢驗。中佳知識產權專家李申評價：“這不僅是設備創新，更是符合新質生產力要求的技術范式重構。”

　　在半導體設備出口管制的背景下，成川科技實現導軌電機、精密傳感器等核心部件100%國產替代。目前，成川科技正聯合上下游攻關晶圓廠特殊環境適應性難題，力求在天車防微振、防靜電等關鍵指標上實現突破。

　　從追趕者到并行者，國產AMHS的突圍軌跡勾勒出新質生產力的培育路徑，以智能調度突破技術壟斷，以數字孿生重構制造流程，以完全自主筑牢產業根基。在這場攸關產業鏈安全的科技攻堅中，中國創新力量正用硬核突破重塑全球半導體的競爭格局。（任徐穎）

　　轉自：中國工業報

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