浙江中寧硅業：成就高純硅材料“中國夢”

　　近日，衢州市科學技術局授予浙江中寧硅業有限公司“2013年度衢州市專利示范企業”稱號。我們看到，大部分獲得榮譽稱號的示范企業在建立企業專利制度、開展自主創新、利用自主知識產權、提升企業核心競爭力等方面起到了較好的示范作用，作為示范企業的中寧硅業有限公司目前擁有員工300余人，擁有各專業學士和碩士研究生學歷百余人。其中40%以上是從事多晶硅行業多年的工程技術人員；公司一期投資約15億元人民幣，已建成年產高純硅烷3000噸、多晶硅1500噸的生產線。擁有良好發展態勢的浙江中寧硅業有限公司，其助力前行的“創新點”究竟在哪里？

　　抓住機遇，實施1500噸多晶硅生產項目

　　中寧硅業有限公司項目中的三個產品電子級硅烷、電子級多晶硅和區熔多晶硅是重要的戰略性材料，是大規模集成電路，以及軍事工業、航空工業等行業必不可少的重要材料。歷史上均被美國、德國和日本三個國家從技術、供應、價格上長期壟斷，國內的主要客戶只能簽訂長單，但是在貨源緊張時又得不到供貨保證。國內從上世紀60年代開始，投入各方力量致力于電子級硅烷和電子級多晶硅的研究和開發，但均未取得重大突破。中國的行業主管部門一直呼吁能有國產的高純硅烷和電子級多晶硅，并且鼓勵開發自主的高純硅烷和電子級多晶硅。目前處于網絡化和信息時代，高純硅烷和電子級多晶硅是信息化主要的、重要的基礎材料，也是國家安全的重要保證。

　　2007年由于多晶硅價格大幅上漲，多晶硅的技術轉讓有所松動，中寧硅業抓住機遇，通過美國的一家技術工程公司取得了部分硅烷法技術和技術產權，采用硅烷法路線研制多晶硅，實施1500噸多晶硅生產項目，緊抓時機促成重要項目。從項目技術來說，該項目選擇硅烷法技術生產電子級多晶硅，克服了國內主流三氯氫硅法生產技術的弊端，對四氟化硅的生產技術和提純技術進行重點攻關，開發了以二氧化硅等物質反應制成四氟化硅的生產、提純技術，并取得了重大突破。打通了使用金屬鈉、鋁粉和氫氣反應生成粗硅烷的產業化技術和硅烷的提純技術，再經過熱分解使硅晶沉積在硅芯上形成硅棒等一系列的產業化生產技術。

　　深謀遠慮，打造擁有自主知識產權的生產基地

　　記者了解到，浙江中寧硅業有限公司于2007年12月21日在衢州成立，目標是打造成為我國擁有電子級多晶硅和電子級硅烷生產能力且擁有自主知識產權的生產基地。該公司一名負責人告訴記者，衢州是我國著名的氟化工基地，公司選址衢州也因生產的主要原料來自衢州的巨化集團，運輸便捷，可以就近取材以降低采購成本，這樣的投資選擇不僅有利于企業的長遠發展，對浙江省延伸氟硅產業鏈、提升氟硅行業水平、促進衢州工業結構調整優化升級都具有重要意義。

　　事實上，公司不僅在選址上“深謀遠慮”，成立至今，中寧硅業有限公司已經擁有一支理論水平和實際研發、生產能力兼備的高純硅材料研發團隊，并建立了企業研究院，2012年被省政府授牌為省重點企業研究院。目前，研究院擁有研發人員百余名，其中擁有碩士學位、學士學位以及中、高級工程師職稱人員40余名，并建立了專家工作站，主攻電子級多晶硅、電子級顆粒硅、區熔級多晶硅和高純電子級硅烷等高純硅材料的研發和產業化技術。在項目的研究過程中，公司撰寫和獲得了“一種簡單有效的四氟化硅提純系統有效抽除固體硅粉顆粒的吸塵器、一種有效降低DME/甲苯中固體粉塵的過濾器、有效提高硅烷法多晶硅硅棒生長速度的系統、一種有效的四氟化硅制備系統”等專利的授權。

　　技術升級，成為國內首家規模化電子級多晶硅企業

　　據不完全統計，全球對高純硅烷需求在年50000噸以上，我國每年用于新能源、TFT、半導體器件和集成電路制備的高純硅烷氣體達到1000噸以上，用于集成電路半導體硅材料市場達到3000噸，國內外市場前景十分廣闊。浙江中寧硅業有限公司現擁有一條國內最大的硅烷氣體生產線，并形成年產3000噸的高純硅烷的產能投放市場，實現高純硅烷氣體國產化，可以基本滿足50%以上的國內市場，緩解國內高純硅烷需求壓力。且項目采用的四氟化硅還原法具有純度高、轉化率高、成本低等優勢，無環境污染問題，并實現了四氟化硅的規模化生產，該項目榮獲2012年度國家重點新產品稱號。

　　除了高純硅烷，通過該項目的實施，中寧硅業還將形成年產電子級多晶硅1500噸的產能，占領60%以上的國內市場，并形成年產區熔多晶硅棒300噸的產能，占領98%以上的國內市場。浙江中寧硅業有限公司一位內部技術人員告訴記者，公司生產的多晶硅采用國際上的硅烷法多晶硅生產技術，該技術投資少、設備運行可靠、純度高，公司生產的多晶硅樣品，套料磷檢硼檢得到的本征基磷-基硼電阻率800—6000Ω.cm以上，少子壽命800μs以上，碳氧含量均小于0.1ppm，已經達到和超過電子級多晶硅國標一級料的標準，并已經在國內多家知名半導體企業使用。目前，浙江中寧硅業有限公司也是國內唯一一家具有規模化生產電子級多晶硅的企業。

　　中寧硅業高純硅烷和電子級多晶硅材料的技術突破，解決了我國幾十年來的技術難題，徹底打破了國外長期的技術封鎖和產品壟斷，也實現了中國擁有國產高純硅材料的夢想。（林阿英本報記者任日瑩）

來源：中國企業報

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