1月30日,在德州職業技術學院集成電路制造工藝實踐中心,記者見證了一個芯片誕生的過程。“剛才的步驟是光刻,通過勻膠、曝光、顯影,利用我們分辨率達微米級的光刻機,將設計好的電路圖形‘印刷’到硅片上,這是決定芯片功能精度的關鍵一步。”德州職業技術學院集成電路學院教師趙寧寧介紹。
以往,學生畢業后進入企業,面對復雜精密的工藝,需要很長的適應期。受限于設備、場地和成本,職業院校難以提供覆蓋全鏈條的、真實的制造體驗。

為打破瓶頸,依托全球集成電路產業綜合競爭力百強城市優勢,德州職業技術學院“復現”了一個真實的、可運行的微型芯片制造實訓環境——集成電路制造工藝實踐中心。在該中心,學生可親手將一枚光禿禿的硅片,制造成一顆具備特定功能、可測試可應用的集成電路芯片。
據了解,能具備全真、閉環、可實際制造芯片的工藝鏈的職業院校實訓基地,多集中在長三角、珠三角等產業高度集聚區。德州職業技術學院是我國北方地區首家真正打通了這條“校園芯片制造之路”的高職院校。集成電路制造工藝實踐中心是我國北方地區職業院校中首個真正實現“從硅片到芯片”全流程制造的實踐教學平臺。

集成電路制造工藝實踐中心構建了一條完整的“教學型”芯片制造短流程線。它涵蓋了芯片制造最核心的六大模塊:薄膜制備、光刻圖形化、刻蝕、清洗去膠、封裝鍵合、功能測試。從一片普通的硅片進入中心開始,它將經歷:薄膜沉積、光刻與圖形化、刻蝕、后道工藝、測試與驗證。整個流程,從“硅片”入到“芯片”出,全部在集成電路制造工藝實踐中心完成。
“我們的工藝能力可以達到3微米精度,集成電路制造工藝實踐中心對于教學實訓、技能培養和初期的產品開發驗證而言,是很寶貴和先進的平臺。”德州職業技術學院集成電路學院負責人崔健說,當學生手持自己參與設計、自己操作設備、自己封裝測試的芯片,看到它成功驅動一個演示系統時,那種成就感和對專業的認同,是任何虛擬仿真或片段化實訓都無法給予的。
對產業而言,德州職業技術學院提供了一個“人才培養前置基地”和“技術驗證微縮平臺”,在滿足社會需求、促進德州市集成電路產業鏈延鏈補鏈等方面發揮積極作用。企業可以將部分初級工藝培訓前置到學校,學生畢業即能上手,大大縮短了企業培訓成本。本地中小微科技企業、創新團隊,也可以在該中心進行小批量流片、工藝試驗和原型驗證。

“圍繞這條真產線,學校的課程改革、教材開發、師資鍛煉、‘崗課賽證’融通,都有了堅實的依托,助推職業教育,從模擬走向真實,從跟跑走向在特定領域的并跑甚至領跑。”德州職業技術學院黨委委員、副院長梁強表示。
轉自:中華網
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