不止缺芯還缺氣 我國電子芯片用特氣80%依賴進口

　　“中興事件讓國人深刻體會到了缺‘芯’之痛，但我們不止缺芯，還缺氣。”在日前舉行的中國工業氣體工業協會第28次會員代表大會暨2018年年會上，中國氣體協會秘書長洑春干告訴記者，目前電子芯片生產用特氣我國僅能生產約20%，其余全部依賴進口。

　　據洑春干介紹，電子氣體作為極大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業生產中不可缺少的基礎和支撐性材料之一，被廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝，沒有這些基本原材料，其下游的IC、LCD/LED、光伏太陽能產品就無法制造。據業內不完全統計，2016年我國晶圓制造電子材料市場總額達343.03億元，較2015年增長6.9%，2017年約為360億元，未來仍將保持增長態勢。

　　經過近10年發展，國內電子氣體行業涌現出一批生產質量穩定，能夠被半導體客戶接受的電子氣體生產企業，如中船重工第七一八研究所、中昊光明化工研究設計院有限公司、黎明化工研究設計院有限責任公司、佛山市華特氣體有限公司等。從2012年至2016年，國內電子氣體企業生產銷售額占中國晶圓制造電子氣市場份額由3.8%增加至25.0%，預計2017年將達28.4%。國內電子氣體市場總量接近全球市場的1/3，且在不斷提高，但國內電子氣產品的自給率卻非常低，近八成產品依賴進口。

　　蘇州金宏氣體股份有限公司董事長金向華、廣東華特氣體股份有限公司總經理傅鑄紅等業界代表也表達了上述觀點。傅鑄紅告訴記者，從品種上來說，目前常用的電子氣體純氣有60多種，混合氣有80多種，但中國能真正實現國產化的只有20多種。

　　電子氣體國產化迫在眉睫，是與會代表達成的共識。“核心技術靠化緣是要不來的，也是花錢買不來的，中國必須掌握電子氣體核心技術。”洑春干呼吁國內企業加大自主創新，用實際行動為“中國芯”打氣。他說，國家對電子氣體的發展一直比較重視，僅去年就出臺了多項鼓勵政策。譬如科技部印發的《“十三五”先進制造技術領域科技創新專項規劃》提到要重點研發超高純電子氣體；發改委印發的《增強制造業核心競爭力三年行動計劃（2018～2020年）》提到了高純氯氣、氯化氫、氧硫化碳（COS羰基硫）、乙硼烷、鍺烷、高純鍺烷、砷烷、高純砷烷、磷烷、高純磷烷、乙硅烷、高純溴化氫、高純乙硅烷等系列電子特氣。國內企業應抓住時機，通過自主創新，增加產品種類，提高國產化率。譬如，加大高危、易燃易爆、腐蝕性、劇毒氣體的純化、監測、充裝、輸送、貯存技術以及安全環保技術、現場配氣技術、回收與再利用技術等的開發力度。

　　傅鑄紅則強調要加強電子氣體的品質管理。他說，有些電子氣體國內并不是完全不能生產，但在技術精益性上與國際先進水平有差距。譬如氯化氫，國內企業也可以做到水分含量滿足指標要求，但今天能滿足，明天卻不一定能滿足，難以確保氣體質量在高水平恒定。

　　據記者了解，中船七一八所已研制出高純三氟化氮、六氟化鎢氣體和三氟甲磺酸系列產品，并實現規模化生產，填補國內空白。截至目前，其三氟化氮、六氟化鎢生產規模均位居國內第一、世界前三，基本打進了國內所有的半導體、液晶面板及太陽能行業廠家及全球知名的半導體廠家；SiF4、C2F6、C3F8、八氟環丁烷、HF、氯化氫、COF2等7種電子氣體及10種混合氣體的研發也已順利完成。金宏氣體的超純氨、八氟環丁烷、高純二氧化碳等產品已形成規模化生產，高純氯化氫、高純氯氣等系列產品也將陸續投入市場。

　　此外，近來國內對鍺烷、砷烷、磷烷、C4F6等氣體產品的研發也有所突破。（記者 龐利萍）

　　轉自：中國化工報

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