近日，海目星攜手福州大學成功研制出國內首款晶圓級Micro LED芯片非接觸電致發光檢測工程樣機FED-NCEL，有效解決了Micro LED行業共性檢測技術問題。
Micro LED具有高亮度、高對比度、高分辨率、長使用壽命、低功耗等優勢，可用于AR/VR、柔性顯示、透明顯示等高端應用領域。然而Micro LED產業化進程的核心環節之一--Micro LED晶圓檢測，目前無法滿足產業高精、高效、無損的需求。針對Micro LED晶圓級生產工藝的高效精準的檢測方式已成為實現行業量產的技術難題之一。
面對Micro LED巨量檢測的諸多行業痛點，福州大學吳朝興教授團隊提出Micro LED芯片的無接觸電致發光檢測方案，即在外部檢測電極與Micro LED芯片之間不接觸的情況下實現LED芯片的電致發光。在該模式中，外部電極用于形成垂直于LED多量子阱層的電場，從而 "隔空"點亮LED芯片。這種檢測方法既避免了傳統檢測方法在檢測過程中對Micro LED芯片造成的物理性損壞，又避免了光致發光檢測造成的芯片良品率"虛高"現象，還能避免自動光學檢測在檢測過程中將表面形貌完好但無法發光的Micro LED芯片誤判為正常芯片的情況。
2024年，海目星攜手福州大學吳朝興教授團隊，開展復雜電磁環境中的"機械-電氣-發光-采集"功能模組的設計與整合，以及控制與光電采集信號的同步，成功研制晶圓級Micro LED芯片的非接觸電致發光檢測工程樣機FED-NCEL。基于該樣機的研發成果，可對紅、綠、藍Micro LED外延片、晶圓（COW）以及轉移到臨時載板的芯片（COC）進行無接觸電致發光檢測。高精度、高穩定性、高效率的技術特點，極大地提升了工藝良率水平，降低了制造成本。（顯言）
轉自：中國電子報
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