近日，中國恩菲和中硅高科共同承擔的超高純四氯化硅技術研發項目，通過了中國電子材料行業協會組織的專家成果鑒定。鑒定委員會專家一致認為，該項目成果實現了多晶硅副產物四氯化硅的綜合利用，提高了四氯化硅的產品附加值，整體技術水平達到國際先進。
鑒定意見顯示，該項目自主研發了以多晶硅副產物四氯化硅為原料，制備光纖用OVD級高純四氯化硅的吸附精餾提純工藝；以OVD級高純四氯化硅為原料，制備光纖用PCVD級超高純四氯化硅的光催化反應精餾提純工藝。同時，該項目還開發了超高純四氯化硅全自動充裝技術和裝備、超高純四氯化硅產品密閉在線取樣系統等先進的工藝及裝備技術，保證了產品質量穩定性及檢測結果的準確性。
此外，該項技術成果已用于10000噸/年OVD級高純四氯化硅和100噸/年的PCVD級、半導體超高純四氯化硅生產裝置建設。（百川）
轉自：中國化工報
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