國內商用12英寸全自動晶圓探針臺制成

　　日前，長春光華微電子設備工程中心有限公司宣布，已研制成功國內首臺商用12英寸全自動晶圓探針臺。

　　據了解，該產品是半導體 （包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器）行業重要的檢測裝備之一，其應用可大幅度降低半導體元器件的制造成本。但由于技術門檻較高，目前市場處于雙強壟斷態勢，兩家日本公司東京電子和東京精密占據了全球絕大部分市場份額，韓國的同類產品也有一定的銷量。

　　為打破國外壟斷，長春光華公司于2015年正式立項開展12英寸全自動探針臺產品的研發。經過不懈努力，先后突破了全自動上料機械手的設計、大行程微米級XY移動平臺精密定位控制技術、高剛度高穩定性探針接觸Z向移動平臺精密控制技術、基于圖像識別的晶圓和探針精密測量和對準技術、大數據量的信息處理和計算機控制技術、高平面度和高熱穩定性的晶圓承載盤技術等六項關鍵技術，推出的第一代產品機，其安全性和可靠性已得到充分驗證，從而具備了全面推向市場，替代國外進口設備的能力。

　　相關權威專家還介紹說，作為國內第一款商業化的12英寸全自動晶圓測試探針臺，該產品各項性能指標已達到或接近國際水平。更重要的是由于替代了進口，還將極大地降低其采購及維護成本，并確保提供快速售后服務，進而對我國半導體產業的發展產生積極的促進作用。

　　需要特別提及的是，長春光華公司是中國科學院長春光學精密機械與物理研究所機電工程研究部于2002年轉制而成立的一家高科技公司，其中晶片電阻生產設備市場占有率達70%以上。（王斌）

　　轉自：中國工業報

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