河南多氟多電子級化學品實現進口替代

　　近日，由國際半導體設備材料產業協會（SEMI）和中國電子商會（CECC）共同舉辦的全球規模最大、規格最高的半導體產業年度盛會--"SEMICON China 2019"在上海新國際博覽中心舉行。河南省多氟多化工股份有限公司（簡稱多氟多）攜電子級氫氟酸、電子級硫酸、電子級硝酸、甲硅烷等系列產品參展。

　　2018年，多氟多電子級氫氟酸與國內多家8寸和12寸半導體客戶建立了合作關系，并成功進入美國、韓國等半導體跨國公司供應鏈，產品品質達到了行業最高級別UP-SSS級，實現了進口替代。

　　據中國工業報記者了解，電子級氫氟酸是應用于集成電路（IC）和超大規模集成電路（VLSI）芯片制作過程的高端化工材料之一，主要用于芯片的刻蝕。全球具備最高品質電子級氫氟酸生產線的企業屈指可數，多氟多憑借30年氟化工創新實力成為其中之一。多氟多是技術工藝領先的精細無機氟化工領軍企業、我國無機氟化工行業第一家上市公司，擁有國家認定企業技術中心、國家認可實驗室、國家博士后科研工作站等研發機構，主持制、修訂國家無機氟化物的100余項產品標準、分析方法標準、標準樣品、生產技術規范等，在新材料領域處于行業領先地位。多氟多于2012年建成超凈高純電子級氫氟酸生產線，制程設計為UP-SS級，經過自主創新、工藝優化，產品品質提升至UP-SSS級，目前已形成1萬噸產能。產品廣泛應用于半導體制程、半導體照明、晶體硅太陽能、平板顯示等多個領域。多氟多采用DCS自動化操控系統，超凈高純PFA雙套輸送管道，萬級自動清洗、千級自動灌裝、百級取樣分析，配備全球先進的檢測儀器和設備，制程控制連續穩定，產品指標優于業界通用的UP-SS/SEMI-C12級水平，達到國際領先水平。

　　2018年4月，多氟多并購浙江中寧硅業，打造中國電子化學品"南基地"，形成濕電子化學品和干電子化學品互補優勢。中寧硅業是我國第一家國產工業化生產硅烷的廠家，是目前國內惟一一家同時進入光伏，TFT以及半導體三個行業硅烷廠家。該公司擁有國際上先進的硅烷法工藝，主打產品硅烷和多晶硅在2011年已做到了電子級，產品用于半導體、液晶面板和光伏行業，產品質量達到國外同等水平，年產多晶硅3000噸、高純硅烷4000噸，生產工藝和產品質量達到世界領先水平，以替代進口為目標，氫氣、氦氣電子特種氣體有60多種。目前中寧硅業正在投資建設納米硅粉、電子級四氟化硅、電子級含氯硅烷、氟氮混合氣、電子級多晶硅等項目，讓更多的化工新材料走向世界。

　　多氟多在新材料領域的快速發展受到了國內外眾多半導體企業的熱切關注，展會期間，多氟多會見了來自美國、日本、韓國、中國臺灣地區及國內眾多芯片企業、硅片制造商和上下游客戶，就業務合作、前沿技術、產業趨勢等開展了商務洽談和深入交流。（記者 陳述明 通訊員 董少華）

　　轉自：中國工業報

 

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