集成電路裝備精密零部件國產化 為攀登制造業“珠穆朗瑪”提供基石

　　 中國最大宗的進口產品是什么？答案是芯片。數據顯示，從2006年開始，中國集成電路產業產品的進口超過石油成為中國最大宗進口產品。2013年至2016年，中國每年芯片進口額超過2000億美元。其中，2016年進口金額為2270.26億元，是同期原油進口金額的兩倍。

　　隨著5g、人工智能和物聯網的發展，我國對芯片的需求將進一步走強。芯片廣泛應用于社會生活的各個方面，像能源、交通、運輸、原材料等基礎產業一樣，是支撐社會經濟運行的基礎，如果基礎產業供給能力不足，國民經濟增長將受到影響。因此，想要實現經濟真正發展，我國芯片必須擺脫對外的高度依賴。要支撐集成電路產業發展，ic裝備產業至關重要。

　　ic裝備產業是生產半導體器件、集成電路芯片和平板顯示器的專用生產設備，體現一個國家現代裝備制造業水平和實力的重要標志，因占據了科技制高點，被稱為制造業的“珠穆朗瑪峰”。

　　集成電路體系復雜，對應用材料純度極高，在6個9甚至10個9以上，即材料純度需要達到99.9999%甚至99.99999999%。此外，集成電路有一個基本特征：每一代技術的尺寸縮小1/3，對應整個集成度提高4倍。因此，ic設備企業對關鍵零部件在原材料的純度、質量穩定性等方面要求極高，沒有滿足ic裝備企業工藝要求的零部件供應，ic裝備產業發展無法想象。

　　“富創生產幾乎覆蓋集成電路的所有零件，來圖加工，以我們的組織加工能力保質、保量、按時完成零件生產。”12月6日，記者跟隨“制造業高質量發展”網絡主題活動來到位于遼寧沈陽的富創精密設備有限公司，公司財務副總江山向記者介紹了我國ic裝備零部件精密制造現狀。
　　
　　2008年，我國將“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”列入國家科技重大專項(簡稱“02專項”)并開始實施，集成電路高端裝備和材料從無到有，形成良性發展的產業鏈和自主知識產權體系。

　　“集成電路體系好比一個金字塔。在專項實施之前沒有形成金字塔；專項實施之后我們做出了集成電路的材料，有了裝備、工藝和封裝，金字塔搭起來了。” 2017年的一場發布會上，國家科技重大專項技術總師、中科院微電子研究所所長葉甜春這樣介紹集成電路專項實施取得的攻關成果。

　　舉國發展集成電路的背景下，富創誕生了。通過02專項的支持，富創實現了ic裝備精密零部件國產化的從無到有，形成了服務我國ic裝備的基本能力，支撐了集成電路裝備企業長足發展，關鍵零部件、核心技術打破了國外對中國集成電路產業的技術封鎖。

　　“零件生產需要繁雜的認證。”江山說，“先要通過第三方機構對企業生產體系認證，其次是首批生產1個零件，經過6個月認證周期，通過之后進行小批量生產5-6個零件，還要經過6個月認證，再次通過之后才能進行大批量生產。” 富創生產的零件已經得到日本、美國等國廠商認證。

　　人工智能技術為經濟發展注入新活力，制造業是人工智能技術的重要應用領域，推動制造業轉型升級，提升國際競爭力。人工智能對ic裝備零件制造的影響同樣巨大。集成電路關鍵設備零部件具有多品種，小（微）批量、高精度、制造過程高度復雜等加工特點，智能產線、數字化仿真、協同與集成等智能化手段建成集成電路關鍵設備零部件柔性數字化車間，能夠有效降低整機企業成本，提高競爭力。

　　在國家智能專項項目支持下，富創已建成數字化車間，實現零件柔性、高效、智能化生產。江山說，富創要做的就是給ic裝備提供零件支撐，降低ic裝備零件成本，推動國產化替代趨勢。

　　需要承認的是，我國集成電路還停留在趕超階段，國內產品無法完全滿足市場需求。同時，集成電路作為全球化產業，無論主動與否，國內產業都要參與全球競爭。江山說，富創在給國內外ic裝備企業提供零件的同時，積極向日本等國學習，強化自己的技術。（曹靜）

　　轉自：中國日報網

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