近日，晟光硅研半導體科技有限公司（以下簡稱“晟光硅研”）在水導激光技術產業化方面取得關鍵進展。該公司總經理楊森在接受《經濟參考報》記者專訪時介紹，晟光硅研作為中國水導激光技術的先行者，始終結合客戶產業化的技術需求，進行水導激光技術設備的國產化自主研發。
資料顯示，晟光硅研成立于2021年，自2023年全國產化設備定型，累計完成設備銷售30余臺（套），是中國率先完全實現商用化水導激光技術設備的研發制造企業，為航空先進復材及半導體材料的高精度、低損傷加工提供了優質的解決方案。
據楊森介紹，水導激光技術作為一種新型激光制造技術，通過將水和激光耦合加工，利用光的全反射效應，在水射流內精確傳導激光，從而實現對材料的精細去除。楊森指出：“與傳統激光加工相比，水導激光減少了熱影響區，避免了材料微裂紋、熔融殘留等問題，適合對熱敏感和高可靠性要求的航空發動機相關零部件制造，其技術原理的線性激光延展了精密加工的深徑比極限，為設計端提供了更大的優化空間。在半導體領域，該技術能夠為客戶提供提質增效的優秀解決方案。”
為輕量化與高強度材料加工提供新路徑
隨著航空航天裝備向輕量化、高性能方向發展，碳纖維復合材料、陶瓷基復合材料等難加工材料的應用日益廣泛。
楊森表示：“水導激光技術在航空先進復合材料高精度打孔、異形結構加工等方面具有獨特優勢。例如，在航空發動機渦輪葉片氣膜孔、陶瓷基復材、碳纖維復材的精密加工等場景中，該技術可實現無機械應力、無分層，避免熱損傷、崩邊、毛刺等缺陷的高質量加工，提升結構件壽命及性能。歷經三年聯合客戶深耕材料特性稟賦、細酌工藝參數優化，已經為中航工業整機廠、中國航發典型發動機完成數十款新型零部件的定型，水導激光已成為我國航空先進材料精密制造的新型加工技術。”
目前，晟光硅研在航空航天市場開拓領域取得了重要進展，公司研制的水導激光設備順利通過了整機驗證階段，并成為中國率先正式進入航空整機廠工程實踐階段的水導激光產品。
構建跨行業工藝開發新生態
為推動水導激光技術在多行業的規模化應用，晟光硅研已建成涵蓋光學設計、流體控制、運動系統及智能工藝軟件的全鏈條研發體系，并推出多款具有自主知識產權的水導激光加工設備。公司專利體系布局完善，在審核及已授權專利120余項。
“我們不僅提供標準化設備，更注重與客戶共同開發定制化工藝解決方案。”楊森表示。該公司與西安電子科技大學、西安交通大學、西北工業大學共建產學研合作平臺，聚焦行業共性難題，開發并積累了一系列針對400多種不同硬脆材料與結構的成熟加工工藝數據庫。
作為高新技術企業及省級專精特新企業，該公司已在水導激光光束質量控制、自適應加工系統、大行程五軸、六軸航空專用龍門設備裝配等領域布局多項核心專利。公司通過研究激光與物質作用的微觀成形機制，開展光學設計研究，攻克了光水耦合等核心技術，完成水導激光技術設備整機研發、樣機試制、定型及小批量生產，為航空航天、半導體、精密醫療器械等硬脆材料加工領域提供全新的技術解決方案。
以創新工藝賦能高端制造自主可控
“水導激光不僅是一項加工技術，更是未來精密制造產業鏈的重要革新。”楊森表示，“晟光硅研將繼續深化該技術在半導體、航空航天等我國重要戰略產業的應用，推動國產高端裝備與工藝的自主化研發進程，助力中國制造向高精度、高可靠性方向邁進。”
楊森表示，未來，公司計劃進一步擴大產能，加強國際合作，致力于成為全球水導激光技術研發與產業化的重要推動者，為全球高端制造業提供中國創新的工藝解決方案。（記者 馮皓）
轉自：經濟參考報
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