據松江報報道，由上海福賽特智能設備有限公司獨立研發的國內首款LED半導體晶圓倒片機今年量產，長三角G60科創走廊研發成果填補了行業空白。
該公司智能設備事業部副總經理劉純君表示，此設備用在LED半導體外延工藝段，可實現晶圓從原料倉至PVD（物理氣相沉積）工序之間以及PVD工序到MOCVD（金屬有機物化學氣相沉積）工序之間的周轉。
值得注意的是，該報道指出，劉純君也介紹說，這批設備是交付給三安集團的，三安集團作為國內LED晶圓制造業的龍頭企業，對產品品質要求很高。
據悉，在福賽特推出此設備之前，這種周轉主要通過人工操作完成。人工操作引入的污染會對產品品質產生很大影響，因為人為失誤造成的產品或載具損傷浪費不小。而且，人工操作和周轉中斷了設備信息流和數據流，不利于產品信息追蹤及回溯。福賽特LED半導體晶圓倒片機的推出，解決了行業痛點。
此外，目前福賽特第一款設備LED半導體晶圓倒片機已經量產，PSS工藝段的第二款產品PSS自動上片機已經研制成功，目前該公司正與國內LED主設備龍頭企業洽談，擬合作研發嵌入式晶圓倒片模塊，支持新一代國產MOCVD和PVD設備的研制。
轉自：集微網
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