匯專超聲方案賦能半導體零部件超深微孔加工，刀具成本下降50%

5月5日，SEMICON Southeast Asia 2026 東南亞半導體展覽會在吉隆坡·馬來西亞國際貿易展覽中心盛大啟幕，匯專攜先進材料超深微孔超聲加工整體解決方案亮相2161展位，集中展示超聲綠色雕銑加工中心UEM-500、超聲振幅測量儀、超聲刀柄、冷壓機、整體PCD刀具、小徑擠壓絲錐等系列創新產品，與來自世界各地的新老客戶及合作伙伴共探半導體產業發展新機遇。

一、明星產品矩陣集中亮相

匯專此次展示的系列產品覆蓋半導體精密零部件加工的數控機床與配套零部件。其中，整機級特色產品超聲綠色雕銑加工中心UEM-500，配置匯專自主研發超聲加工技術，超聲電主軸最高轉速可達40,000rpm，定位精度可達5μm，重復定位精度可達3μm，有效滿足半導體、消費電子等行業硬脆材料、工程塑料、金屬材料及復合材料的超微深孔及表面高光加工需求。

部件級特色產品超聲振幅測量儀可實現刀長、刀徑檢測，刀具位置校準與超聲振幅在線測量，測量最大振幅60μm，測量精度±0.5μm，測量刀徑范圍0.3-55mm，頻帶范圍100kHz，激光功率1mW、波長650nm，防水等級IPX8，確保超聲加工效果保持穩定。

零件級特色產品整體PCD刀具可針對性解決各類難加工材料的加工痛點，不僅加工精度更高、刀具壽命更長，更能幫助客戶提升加工效率、節約生產成本。其中，整體PCD微鉆采用整體PCD材質鉆尖，耐磨性更好，適用于硬脆材料的鉆孔加工，有效提升刀具壽命和鉆孔質量，可量產最小直徑D0.1mm整體PCD鉆頭，有效解決深徑比55:1的單晶硅曲面電極超深微孔鉆孔難題。

整體PCD微刃銑刀刃寬≥5μm，刃數≤300F，以銑代磨，加工碳化硅HV 3,200，粗糙度≤5nm，可實現鏡面效果。

整體PCD螺紋銑刀采用專利刃口微織構設計，加工螺紋精度達4H級，是硬脆材料及復合材料高效高質高精螺紋加工上佳選擇，應用于鋁基碳化硅（碳化硅含量60%）加工，無裂紋無崩邊，刀具壽命提升800倍。

展會現場，匯專不僅設置超聲振動與超聲振幅測量體驗區，幫助觀眾更直觀地了解匯專超聲技術產品的加工原理及優勢，更設置微孔放大觀察區，幫助他們近距離查看整體PCD刀具在半導體先進材料加工方面的超深微孔效果。

超聲振動與超聲振幅測量體驗區：

微孔放大觀察區：

匯專特色工件展示：

終端客戶工件展示：

二、超聲加工整體解決方案

在半導體先進材料加工領域，匯專超聲綠色機床可與超聲加工技術、超聲振幅測量儀、超聲綠色刀柄及整體PCD刀具靈活組合使用，為客戶量身定制高效、穩定、低成本的超深微孔超聲加工整體解決方案。

01 工程塑料探針卡階梯微孔加工

材料：杜邦工程塑料 (VESPEL SCP5000)

加工特征：D0.22/D0.32mm階梯微孔鉆孔

加工優勢：

●可穩定加工D0.22mm/D0.32mm的階梯微孔

●孔間距最小0.35mm，孔壁最薄為0.03mm，孔壁厚度一致性好，無破壁現象

●孔口毛刺從0.095mm縮短至0.027mm，縮短72%

●傳統方案毛刺覆蓋率達5%，匯專方案毛刺覆蓋率低至0.2%，減少后工序成本，提升產品良率

02  CVD碳化硅(SiC)噴淋盤階梯孔加工

材料：CVD碳化硅(SiC)

硬度：HV 3,150

加工特征：D1.0x6.9/D0.5x5.5mm階梯孔鉆孔

加工優勢：

●D1.0/D0.5mm階梯孔單孔加工時間從17分25秒縮短至13分58秒，加工時間縮短20%

●可穩定加工390個D1.0孔，刀具壽命提升105.3%

●可穩定加工320個D0.5孔，刀具壽命提升100%

●加工單個工件所需刀具從11.617支減少至5.74支，刀具成本減少50.59%

●顯微鏡放大至90倍檢測，孔口崩邊量≤0.05mm

●孔同心度≤0.026mm

●D1.0孔真圓度0.006mm-0.013mm，D0.5孔真圓度0.004mm-0.007mm

●D1.0孔位置度0.006mm-0.049mm，D0.5孔位置度0.015mm-0.049mm

●D1.0孔垂直度≤0.033mm， D0.5孔垂直度≤0.039mm

●D1.0孔平均粗糙度Sa0.0097μm，D0.5孔平均粗糙度Sa0.033μm

03 單晶硅曲面電極鉆孔加工

材料：單晶硅

加工特征：D0.45x24.75mm超深微孔鉆孔

加工優勢：

●整體PCD鉆頭可連續加工超過1,000個D0.45x24.75mm的超深微孔（深徑比55:1）

●入口處目視無崩邊

●孔真圓度達0.003mm

●孔壁粗糙度Sa從6.540μm降低至 0.013μm，降低99.8%

匯專先進材料超深微孔超聲加工整體解決方案不僅成功解決工程塑料探針卡、CVD碳化硅(SiC)噴淋盤、單晶硅曲面電極加工難題，在多晶硅柵極環、石英玻璃噴淋盤、藍寶石工件、氧化鋁陶瓷噴淋盤、氮化硅卡盤、石墨坩堝、鋁基碳化硅工件、鋁合金噴淋盤、高溫橡膠噴嘴等多種半導體精密零部件中，同樣具備顯著優勢，可有效幫助客戶縮短加工時間、改善工件質量、提高產品良率。

未來，匯專將持續深耕高端制造領域，不斷深化與海外代理商的協同合作，聚焦不同國家及地區的半導體制造需求，提供更貼合當地市場的加工解決方案與本土化服務，為“中國制造”走向全球貢獻創新力量。

關于匯專：

匯專創立于2003年，專注于高端超聲綠色數控機床及關鍵部件的研制。二十年來，始終秉承“匯全球資源，專行業領先”的理念，緊緊圍繞“高效、綠色、智能”的主線，實現產品從零件級、部件級到整機級的跨越，構建以數控機床為核心、關鍵部件與高性能工具協同發展的產業布局，客戶遍布航空航天、半導體、醫療、消費電子、汽車、模具、教育和通用機械等精密制造領域。

集團總部位于廣州科學城，在全國七大區設有銷售技術服務中心，并在中國香港、中國臺灣、韓國、日本、瑞士、德國和美國等地建立研發、銷售、服務體系，產品遠銷全球六大洲超過70個國家和地區，逐步形成研發、生產、銷售、服務全球一體化布局。

公司堅持創新驅動戰略，擁有兩家國家高新技術企業，設有前沿技術研究院和廣東省工程技術中心，核心技術專利超過1,100項，主要產品技術經中國工程院院士領銜的專家組鑒定達到國際領先水平，先后榮獲廣東省科技進步一等獎、廣東省專利獎銀獎、中國專利獎優秀獎、廣東省疫情防控物資保障工作重要貢獻企業、廣州市民營領軍企業等殊榮。

　　轉自：中國日報網

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