對工業領域，尤其是半導體制造而言，在單一工藝中降低能耗是綠色轉型的一個重要起點。對于高耗能行業的企業來說，這與排放密切相關，并影響著運營方式的方方面面，從采購到生產設計以及投資決策。隨著期望不斷提高、法規日益嚴格，這也會影響企業的長期信譽。作為工業加熱技術和電阻材料領域的全球先進品牌，Kanthal康泰爾長期與客戶合作，致力于在保持穩定工藝條件的同時考慮功耗問題。并在自身運營中使用同樣的方法。截至2025年，Kanthal康泰爾相較2019年基準已將二氧化碳排放量減少57%，提前五年超過其經驗證的2030年減排54%的目標。這一進展得益于工藝電氣化以及向經認證的無化石燃料電力的轉型發展。
Kanthal康泰爾新型加熱元件，有效提高半導體制造效率
中歐一家半導體器件制造商亟需降低其臥式晶圓加工過程中的能耗，且工藝仍須維持在 1,245°C的穩定溫度下運行，并要求系統穩定性不受影響。
制造商的具體目標是將能耗從 5.3 kWh 降低到 4.0 kWh。Kanthal康泰爾與客戶合作，開發了一種采用節能元件的解決方案。模擬結果顯示，新設計可將能耗減少約 1.6 kWh，降幅約為 30%。在客戶現場進行的測試驗證了這一結果，評估用加熱元件將能耗降低至約 3.7 kWh。
在許多情況下，使用新加熱元件節省下來的電力成本有助于抵消其投入成本。由于維持溫度所需電力更少，加熱元件的預期使用壽命也將更長。
“Kanthal康泰爾節能加熱元件具有提升工藝性能的潛力。一種設計變型已在高溫臥式爐應用中被證明有效，它能在減少關鍵區域熱損的同時，保持傳統加熱元件的冷卻速率。實現節能與保障生產效率的最佳冷卻速率之間的平衡至關重要。”Kanthal康泰爾全球產品經理Tyke Johnson表示。
Kanthal康泰爾全球產品經理Tyke Johnson
Kanthal康泰爾與廣大客戶合作共贏
Kanthal康泰爾在半導體制造加熱領域擁有40多年的經驗，多樣化技術涵蓋不同爐型、工藝條件，能滿足眾多客戶的多樣化需求。針對每一項挑戰，Kanthal康泰爾都會根據具體爐體配置和工藝要求提供定制化解決方案。
正如Johnson所說：“秉持以客戶為中心的方法，意味著理解半導體制造中的每一個挑戰都是獨特的。這一切都關乎協作——客戶的挑戰就是我們的挑戰，我們共同打造超越預期的解決方案。”
品牌傳承與創新并行
Kanthal康泰爾的半導體加熱產品組合包括重型和輕型Fibrothal? 加熱元件，適用于300°C至1,350°C的工藝溫度范圍。
這些加熱元件兼容不同品牌和配置的臥式與立式爐設計，適用于最大300毫米的晶圓基板，并可根據各種生產需求進行定制，包括多區配置。
該產品組合建立在早期技術基礎之上。Fibrothal? 加熱元件此前由MRL和Sandvik Materials Technology供應，在北美也被稱為Aztec、Helix II、Helix、Black Max或Magna SW，在歐洲則稱為White John。
起源于MRL的技術，如今已延續至Kanthal康泰爾的半導體加熱解決方案之中。
轉自：日照新聞網
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